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產(chǎn)品與服務(wù)
硅材料

奕斯偉集團硅材料業(yè)務(wù)由西安奕斯偉材料科技有限公司承接,主要研發(fā)制造12英寸電子級硅單晶拋光片和外延片,廣泛應用于電子通訊、汽車(chē)制造、人工智能、消費電子等領(lǐng)域。


奕斯偉優(yōu)選先進(jìn)設備和工藝,結合最高等級潔凈間設計和生產(chǎn)管控,制造無(wú)位錯、無(wú)原生缺陷、超平坦和優(yōu)良納米形貌的12英寸硅片。目前,奕斯偉在西安的硅產(chǎn)業(yè)基地一期工廠(chǎng)已于2020年7月量產(chǎn),產(chǎn)能為50萬(wàn)片/月。產(chǎn)品主要為集成電路用硅單晶拋光片及外延片,適用領(lǐng)域包括邏輯芯片(Logic)、閃存芯片(3D NAND & Nor Flash)、動(dòng)態(tài)隨機存儲芯片(DRAM)、圖像傳感器(CIS)、顯示驅動(dòng)芯片(Display Driver IC)等。

西安硅材料工廠(chǎng)-更新-20200514.jpg

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核心產(chǎn)品
12英寸硅單晶拋光片

單晶硅棒經(jīng)過(guò)切割、研磨、化學(xué)機械拋光及清洗后得到具有鏡狀表面的硅片通常被稱(chēng)為硅拋光片。

工藝:將高純多晶硅放入石英坩堝,加熱至1400℃以上,融化成硅熔液,再把籽晶浸入硅熔液,經(jīng)過(guò)引晶、放肩、轉肩、等徑生長(cháng)、收尾等步驟,完成一根單晶硅棒的拉制。在單晶硅棒產(chǎn)出后,將晶棒切割成300~400毫米長(cháng)的硅塊,之后采用線(xiàn)切割得到厚度約1毫米的薄片,再對其進(jìn)行拋光、清洗加工,得到高品質(zhì)的拋光片。

應用領(lǐng)域:12英寸拋光片廣泛用于NAND閃存芯片和DRAM內存芯片等。

12英寸硅單晶外延片

在硅拋光片襯底上,通過(guò)外延生長(cháng)形成具有單晶薄膜的硅片通常被稱(chēng)為外延片。

工藝:應用化學(xué)氣相沉積技術(shù),在拋光片上外延出整齊排列的高品質(zhì)單晶。

應用領(lǐng)域:12英寸外延片廣泛用于CPU/GPU等邏輯芯片、MOSFET/IGBT等功率器件、圖像傳感器等。

產(chǎn)品展示
測試
測試
顯示交互解決方案 智慧連接解決方案 智能計算解決方案 多媒體系統解決方案
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